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第一卷第285章暗影潜伏(第1/2页)
咔哒。
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下，露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐，针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——！
一缕肉眼不可见的微量凝固气体，顺着管道内壁，无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间内，刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液，顺着高压微管，稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间内响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
嗡——！
旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。
金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。
李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。
红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
滴！
大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。
0.05微米。
“不行！”
技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。
“误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准！”
程美丽站在操作台前，目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
“机器没问题，是配重。”
她双手快速在键盘上敲击，调出主轴的震动波形图。
“新配方的胶体粘度太高，主轴原有的震动频率产生了微共振。”
“停机。”
嗡鸣声骤停。
程美丽大步走上前，纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
“拿配重铅块来。”
“在这里，加0.5克，微调动平衡。”
两名高级技工满头大汗地冲上来，用医用镊子夹着极小的铅块，精准卡入指定位置。
“重新点火旋转！”
主轴再次咆哮着提速。
就在这最关键的瞬间。
头顶的百叶窗内，一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。
滴滴滴滴！
激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声！
“怎么回事！”
李副部长惊恐地抬起头。
大屏上，原本平滑的胶体三维扫描图上，肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。
“有颗粒！”
检测员尖叫出声，声音里透着绝望。
“胶体表面发生未知凝固反应！刚铺好的涂层要报废了！”
整个车间的空气瞬间凝固，所有人的脸色煞白如纸。
陆川站在操作台侧后方，鼻翼微动，深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。
化学凝固剂的微弱气味。
他右脚重重蹬地，修长的身躯化作一道残影，直接扑向墙边的环境控制柜。
砰！
他一拳砸碎防护玻璃，狠狠拉下最顶端的红色拉杆。
“锁死通风口！”
他头也不回地怒吼，声音如炸雷般劈开车间的恐慌。
“启动军用级内循环净化系统！”
轰——！
四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣，巨大的吸力瞬间将车间内的残余空气强行抽离。
但涂层表面的凝固颗粒已经形成。
“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软，死死扒着操作台边缘。
“闭嘴！”
程美丽厉喝一声，半步未退。
意识深处，系统面板瞬间亮起刺目的金光。
【权限确认：系统微调开关已解锁。】
她双手重重拍在操作台上，十指化作残影，疯狂敲击工业键盘，直接绕过机械保护程序。
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底层控制代码被她强行撕开一条缺口。
“强行解锁主轴转速锁！”
滴——！
操作台上的红灯陷入疯狂的频闪。
【警告！转速即将突破物理极限！主轴有断裂风险！】
刺耳的机械合成音响彻车间。
陆川拔出腰间的配枪，大步跨回操作台侧前方。
他用高大的身躯死死挡在程美丽身前，枪口斜指地面，冷厉的目光警戒四周，任由警报声撕扯耳膜，连眉头都没有皱一下。
程美丽眼神如刀，左手一把攥住极限加速的金属推杆，骨节发白。
“给我转！”
她猛地将推杆一推到底！
滋——嗡嗡嗡嗡！
旋涂机主轴发出一声几乎要撕裂钢铁的尖啸！
转速在两秒内强行飙升至恐怖的三万转极限！
狂暴无匹的离心力化作无形的巨手，狠狠碾压在晶圆表面！
那些刚刚凝固的微小颗粒，被这股恐怖的力量硬生生撕碎、连根拔起，顺着晶圆边缘疯狂甩飞而出！
啪啪啪啪！
密集的颗粒砸在防爆玻璃内壁上，爆出令人牙酸的密集脆响。
整个机器底座都在剧烈震颤，固定螺栓发出不堪重负的呻吟。
十秒。
二十秒。
三十秒！
“降速！”
程美丽手腕发力，猛地将推杆拉回原位。
尖啸声如潮水般退去。
主轴带着强大的惯性缓缓降速，最终平稳停滞。
车间内死一般的寂静，只剩下净化风扇的低鸣。
所有人的视线，死死钉在上方的电子大屏上。
激光检测仪的红色光束再次扫过晶圆表面。
滴！
一声清脆的系统音。
刺目的红灯瞬间转为柔和的绿光。
大屏上的数字疯狂跳动，最终稳稳地停格。
0.001微米。
检测员死死抓着自己的头发，眼珠子几乎要瞪出眼眶，激动得声音彻底劈了叉。
“降下来了！”
“千分之一微米！平了！完全平了！”
李副部长双腿一软，死死撑着栏杆，眼泪当场就飙了出来。
“快！立刻上报！”
他扯着嗓子嘶吼。
“华夏突破极紫外涂层了！”
震天的欢呼声瞬间掀翻了车间的顶棚。
就在这沸腾的刹那。
陆川收枪入套，深邃的黑眸里闪过一抹暴烈的寒光。
他猛地转身，右腿蓄力爆发，一脚将厚重的防爆大门踹得轰然大开。
整个人化作一道黑色闪电，直冲车间外漆黑的走廊。
走廊尽头的拐角处。
那道穿着脏污后勤制服的黑影，正拼了命地往消防楼梯口狂奔。
“跑？”
陆川冷哼一声，脚下军靴猛地一踩墙面。
他借着墙壁的恐怖反弹力腾空而起，在半空中悍然拧腰。
修长的右腿抡出一道骇人的残影，带着撕裂空气的厉啸，狠狠劈在黑影的后颈上！
砰！
一声令人牙酸的闷响。
黑影连惨叫都没来得及发出，整个人像一滩烂泥般重重砸在坚硬的水泥地面上，向前死死滑出三米多远。
陆川落地如钉，大步上前。
军靴毫不留情地踩住对方的脊背，用力一碾。
啪嗒。
一张深蓝色的卡片，从黑影敞开的工装口袋里滑落，掉在冰冷的地面上。
陆川低头扫了一眼，眼底的杀机瞬间凝固成冰。
那是一张带有军区高级权限的硬质通行证。
职务栏上，清清楚楚地印着六个黑字。
安保处副处长。
